3納米高純氣體面密封墊片|納米級(jí)顆粒防護(hù)，守護(hù)高純氣體系統(tǒng)安全運(yùn)行

在半導(dǎo)體、集成電路、光伏、電子特氣、生物制藥等行業(yè)中，高純氣體系統(tǒng)對(duì)潔凈度的要求越來(lái)越高。許多企業(yè)在實(shí)際運(yùn)行過(guò)程中都會(huì)遇到類(lèi)似問(wèn)題：氣路中的微小顆粒進(jìn)入質(zhì)量流量控制器(MFC)、精密閥門(mén)或壓力調(diào)節(jié)器后，容易造成閥芯磨損、密封失效、流量偏差甚至設(shè)備停機(jī)，嚴(yán)重影響產(chǎn)品良率和生產(chǎn)穩(wěn)定性。

恒歌3納米高純氣體面密封墊片專(zhuān)為超高純氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計(jì)，在傳統(tǒng)VCR面密封墊片結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上集成高精度燒結(jié)金屬過(guò)濾層，實(shí)現(xiàn)密封與過(guò)濾雙重功能。產(chǎn)品采用高純度316L不銹鋼材料制造，可在高溫、高壓、腐蝕性氣體等復(fù)雜工況下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，為關(guān)鍵氣體系統(tǒng)提供可靠的顆粒攔截保護(hù)。

相比傳統(tǒng)過(guò)濾器需要額外安裝空間和復(fù)雜管路改造，恒歌面密封過(guò)濾墊片可直接替換標(biāo)準(zhǔn)VCR墊片，無(wú)需增加管路長(zhǎng)度和安裝工序，在有限空間內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)顆粒過(guò)濾，有效降低系統(tǒng)污染風(fēng)險(xiǎn)。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品名稱(chēng)：3納米高純氣體面密封墊片

產(chǎn)品類(lèi)型：墊片式高純氣體過(guò)濾器(MF系列)

過(guò)濾精度：3nm～60μm(支持定制)

材質(zhì)：316L不銹鋼

密封方式：面密封

表面粗糙度：≤0.2μm

耐溫范圍：最高可達(dá)400℃

接口規(guī)格：1/8″、1/4″、3/8″、1/2″、3/4″、1″

適用介質(zhì)：高純氣體、特種氣體、惰性氣體、工藝氣體

定制服務(wù)：

● ?過(guò)濾精度定制

● ?尺寸規(guī)格定制

● ?MFC專(zhuān)用過(guò)濾墊片定制

● ?精密閥門(mén)專(zhuān)用過(guò)濾墊片定制

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、納米級(jí)過(guò)濾能力，攔截超微顆粒污染

恒歌采用自主燒結(jié)過(guò)濾技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)3納米至60微米范圍內(nèi)的精密過(guò)濾。對(duì)于高純氣體系統(tǒng)中的金屬顆粒、管路雜質(zhì)以及工藝污染物具有良好的攔截效果，從源頭降低顆粒進(jìn)入關(guān)鍵設(shè)備的風(fēng)險(xiǎn)。

2、密封與過(guò)濾一體化設(shè)計(jì)

傳統(tǒng)氣體過(guò)濾器往往需要額外安裝空間，而面密封過(guò)濾墊片將過(guò)濾功能直接集成到墊片結(jié)構(gòu)中，在保持原有密封性能的同時(shí)實(shí)現(xiàn)高效過(guò)濾，特別適用于空間受限的半導(dǎo)體氣路系統(tǒng)。

3、高純316L不銹鋼材料

產(chǎn)品整體采用316L不銹鋼制造，具有優(yōu)異的耐腐蝕性能和機(jī)械強(qiáng)度，可適應(yīng)多種腐蝕性氣體及復(fù)雜工藝環(huán)境，減少長(zhǎng)期使用過(guò)程中材料老化帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)。

4、耐高溫、耐高壓性能優(yōu)異

最高可耐受400℃工作環(huán)境，在高溫工藝氣體輸送過(guò)程中依然保持穩(wěn)定過(guò)濾性能。針對(duì)不同工況需求，可提供高壓型和低壓型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。

5、表面光潔度高，減少顆粒脫落

密封接觸面經(jīng)過(guò)精密加工處理，表面粗糙度可達(dá)≤0.2μm，有助于提高密封可靠性，減少安裝過(guò)程中產(chǎn)生的顆粒污染。

6、安裝便捷，降低改造成本

產(chǎn)品兼容標(biāo)準(zhǔn)面密封接口規(guī)格，可直接替換現(xiàn)有VCR墊片，無(wú)需焊接、切割或改造氣路系統(tǒng)，大幅縮短設(shè)備維護(hù)和升級(jí)時(shí)間。

產(chǎn)品應(yīng)用

1、半導(dǎo)體制造設(shè)備

在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，氣體潔凈度直接影響晶圓良率。恒歌3納米高純氣體面密封墊片廣泛應(yīng)用于氣體分配系統(tǒng)、特氣輸送系統(tǒng)以及工藝設(shè)備前端，可有效保護(hù)MFC、減壓閥、電磁閥等關(guān)鍵部件。

特別是在CVD、PVD、刻蝕、離子注入等工藝環(huán)節(jié)，可有效減少顆粒污染造成的缺陷風(fēng)險(xiǎn)。

2、生物制藥與醫(yī)藥制造

用于高純氣體輸送、無(wú)菌氣體供應(yīng)以及藥品生產(chǎn)過(guò)程中的氣體過(guò)濾，確保進(jìn)入生產(chǎn)系統(tǒng)的氣體潔凈度符合工藝要求，降低產(chǎn)品污染風(fēng)險(xiǎn)，提高生產(chǎn)一致性。

3、光伏與電子材料行業(yè)

在電子級(jí)硅材料、光伏電池片以及電子特種材料生產(chǎn)過(guò)程中，對(duì)工藝氣體純度要求極高。過(guò)濾墊片能夠持續(xù)攔截微粒污染物，保障產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定。

4、航空航天與高端裝備制造

應(yīng)用于高可靠性氣體控制系統(tǒng)、先進(jìn)材料制造以及精密工藝設(shè)備中，即使在高溫、高壓等苛刻環(huán)境下也能保持穩(wěn)定過(guò)濾性能。

為什么選擇恒歌

作為專(zhuān)注于燒結(jié)金屬過(guò)濾技術(shù)研發(fā)與制造的生產(chǎn)廠家，恒歌長(zhǎng)期服務(wù)于半導(dǎo)體、電子特氣、生物制藥、新能源等行業(yè)客戶，積累了豐富的高純氣體過(guò)濾應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。

恒歌不僅提供標(biāo)準(zhǔn)化面密封過(guò)濾墊片產(chǎn)品，還能夠根據(jù)客戶設(shè)備結(jié)構(gòu)、氣體種類(lèi)、壓力參數(shù)和過(guò)濾要求進(jìn)行定制開(kāi)發(fā)，幫助客戶獲得更匹配的過(guò)濾解決方案。

選擇恒歌，您獲得的不僅是一片過(guò)濾墊片，更是一套針對(duì)高純氣體系統(tǒng)顆粒污染控制的專(zhuān)業(yè)解決方案。

無(wú)論是保護(hù)昂貴的質(zhì)量流量控制器，延長(zhǎng)精密閥門(mén)使用壽命，還是提升半導(dǎo)體工藝良率，恒歌3納米高純氣體面密封墊片都能夠?yàn)槟母呒儦怏w系統(tǒng)提供長(zhǎng)期、穩(wěn)定、可靠的顆粒防護(hù)保障。