在半導(dǎo)體、高純氣體輸送、精密儀器和高端制造領(lǐng)域，氣體中的微米級(jí)甚至納米級(jí)顆粒污染往往是導(dǎo)致設(shè)備故障、閥門泄漏、流量漂移以及產(chǎn)品良率下降的重要原因。尤其是在MFC質(zhì)量流量控制器、壓力調(diào)節(jié)閥、氣體面密封接頭等關(guān)鍵部位，一旦雜質(zhì)顆粒進(jìn)入系統(tǒng)，輕則影響工藝穩(wěn)定性，重則造成昂貴設(shè)備損壞和生產(chǎn)停線。

恒歌316L不銹鋼面密封濾片(墊片式燒結(jié)過濾片)專為高純氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)，采用高品質(zhì)316L不銹鋼粉末燒結(jié)而成，將過濾功能與密封墊片結(jié)構(gòu)集成于一體，無需額外安裝過濾器即可實(shí)現(xiàn)顆粒攔截和系統(tǒng)保護(hù)。產(chǎn)品兼容各種密封標(biāo)準(zhǔn)接口，可直接替代普通金屬墊片安裝于氣體管路連接位置，在不改變?cè)邢到y(tǒng)結(jié)構(gòu)的前提下實(shí)現(xiàn)高效過濾。

恒歌MF系列墊片式過濾片可提供3nm～60μm多種過濾精度選擇，能夠有效攔截氣體輸送過程中產(chǎn)生的金屬顆粒、管路氧化物、密封碎屑及其他污染物，為MFC、隔膜閥、減壓閥、分析儀器和工藝設(shè)備提供持續(xù)穩(wěn)定的顆粒防護(hù)。產(chǎn)品采用全金屬結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，無膠粘劑、無纖維脫落風(fēng)險(xiǎn)，適用于高溫、高壓及腐蝕性氣體環(huán)境，最高耐溫可達(dá)400℃。

相比傳統(tǒng)在線過濾器，墊片式燒結(jié)過濾片安裝空間更小、壓降更低、維護(hù)更方便，特別適用于設(shè)備內(nèi)部空間有限或需要局部保護(hù)的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)位置。對(duì)于半導(dǎo)體電子氣體系統(tǒng)而言，它不僅能夠減少顆粒污染帶來的工藝缺陷，還能有效延長關(guān)鍵部件使用壽命，降低維護(hù)成本，提高系統(tǒng)運(yùn)行可靠性。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、納米級(jí)過濾能力，保護(hù)關(guān)鍵部件

采用精密粉末燒結(jié)工藝制造，可實(shí)現(xiàn)3nm至60μm過濾精度范圍，有效攔截氣體中的顆粒污染物，減少閥門卡滯、流量異常及密封面損傷風(fēng)險(xiǎn)。

2、過濾與密封二合一設(shè)計(jì)

區(qū)別于傳統(tǒng)過濾器需要額外安裝空間，恒歌墊片式過濾片兼具過濾和密封雙重功能，可直接安裝于面密封連接位置，實(shí)現(xiàn)零額外管路改造。

3、全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

產(chǎn)品采用耐腐蝕性能優(yōu)異的316L不銹鋼制造，能夠適應(yīng)多種高純氣體、腐蝕性氣體和特殊工藝環(huán)境，長期使用不易老化失效。

4、耐高溫、耐高壓

全金屬燒結(jié)結(jié)構(gòu)最高可承受400℃工作環(huán)境，適用于高溫工藝氣體輸送系統(tǒng)，同時(shí)可根據(jù)工況提供高壓型和低壓型方案。

5、表面光潔度高

密封面經(jīng)過精密加工處理，表面粗糙度可達(dá)到≤0.2μm，有助于實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠的面密封效果，降低泄漏風(fēng)險(xiǎn)。

6、多規(guī)格兼容，支持定制

兼容標(biāo)準(zhǔn)VCR面密封接口規(guī)格，同時(shí)可根據(jù)客戶設(shè)備結(jié)構(gòu)、流量需求和過濾等級(jí)要求進(jìn)行定制開發(fā)。

產(chǎn)品應(yīng)用

1、半導(dǎo)體制造行業(yè)

在半導(dǎo)體氣體輸送系統(tǒng)中，廣泛應(yīng)用于MFC質(zhì)量流量控制器、隔膜閥、減壓閥及工藝設(shè)備前端過濾。有效防止顆粒進(jìn)入關(guān)鍵部件，提高設(shè)備穩(wěn)定性和晶圓制造良率。

適用于：

CVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備

ALD原子層沉積設(shè)備

刻蝕設(shè)備

氣體柜系統(tǒng)

特種氣體輸送系統(tǒng)

2、醫(yī)藥與生物制藥行業(yè)

高純氣體廣泛應(yīng)用于藥品生產(chǎn)、發(fā)酵工藝及氣體滅菌過程。墊片式過濾片能夠有效去除管路顆粒污染，保證氣體純度和生產(chǎn)過程穩(wěn)定性。

適用于：

無菌制藥系統(tǒng)

發(fā)酵設(shè)備

氣體混配系統(tǒng)

生物反應(yīng)器

3、航空航天及高端制造

在航空航天材料制備、特種焊接、精密鍍膜及先進(jìn)制造領(lǐng)域，對(duì)氣體潔凈度要求極高。燒結(jié)過濾片能夠在高溫、高壓環(huán)境下持續(xù)提供可靠過濾保護(hù)。

適用于：

特種材料制備

真空鍍膜設(shè)備

精密氣體控制系統(tǒng)

航空航天零部件制造

4、分析儀器與實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)

可安裝于氣相色譜、質(zhì)譜、氣體分析儀及實(shí)驗(yàn)室高純氣體管路系統(tǒng)中，防止顆粒污染進(jìn)入儀器內(nèi)部，提高檢測結(jié)果穩(wěn)定性。

為什么選擇恒歌

作為專注于金屬燒結(jié)過濾技術(shù)的生產(chǎn)廠家，恒歌擁有多年粉末燒結(jié)產(chǎn)品研發(fā)與制造經(jīng)驗(yàn)，能夠?yàn)榭蛻籼峁牟牧线x擇、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)到批量生產(chǎn)的一站式解決方案。

恒歌不僅提供標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的面密封燒結(jié)濾片，還可根據(jù)客戶工況需求進(jìn)行個(gè)性化定制，包括過濾精度、外形尺寸、厚度、孔隙率以及特殊接口結(jié)構(gòu)開發(fā)。對(duì)于半導(dǎo)體、電子特氣、生物制藥、新能源和高端裝備制造等行業(yè)客戶，恒歌能夠提供更加匹配實(shí)際應(yīng)用場景的過濾方案。

我們的優(yōu)勢(shì)包括：

? ?自有燒結(jié)生產(chǎn)工廠

? ?316L不銹鋼原材料嚴(yán)格管控

? ?過濾精度3nm～60μm可選

? ?支持小批量打樣和批量生產(chǎn)

? ?支持OEM、ODM定制

? ?專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)提供選型支持

? ?穩(wěn)定交付，質(zhì)量可追溯

對(duì)于高純氣體系統(tǒng)而言，一個(gè)小小的顆粒污染就可能造成巨大的損失。恒歌316L不銹鋼面密封濾片，將過濾功能前移到最關(guān)鍵的位置，為您的氣體系統(tǒng)建立一道可靠的安全屏障，在保護(hù)核心設(shè)備的同時(shí)，幫助企業(yè)降低維護(hù)成本，提高生產(chǎn)穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。