在半導(dǎo)體制程的超高純工藝中，氣體純度需達(dá)到 ppb 級(jí)甚至 ppt 級(jí)，對(duì)過(guò)濾設(shè)備提出極致要求。深圳恒歌 BF 系列高純大流量過(guò)濾器，作為高純大流量過(guò)濾器的典范，為超高純工藝保駕護(hù)航。?

其核心優(yōu)勢(shì)在于將高純度與大流量完美結(jié)合：0.003μm 的過(guò)濾精度確保氣體中微量顆粒被徹底清除，滿(mǎn)足超高純工藝對(duì)氣源的嚴(yán)苛要求;多柱狀介質(zhì)設(shè)計(jì)則保障大流量供應(yīng)，適配高純度氣體輸送系統(tǒng)。全 316L 不銹鋼材質(zhì)經(jīng)過(guò)電解拋光處理，內(nèi)壁光滑度極高，減少氣體滯留與吸附，降低交叉污染風(fēng)險(xiǎn)。整體金屬構(gòu)造使其能在高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，100% 氨氣檢漏測(cè)試更確保無(wú)任何泄漏點(diǎn)，有特殊需求可定制加工，滿(mǎn)足不同超高純工藝的個(gè)性化需求。?

產(chǎn)品特點(diǎn)：?

●?超高純度保障，適配 ppb 級(jí)工藝需求?

●?大流量設(shè)計(jì)，滿(mǎn)足高純度氣體輸送?

●?電解拋光處理，減少氣體滯留?

●?耐高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境，穩(wěn)定性卓越?

●?全面檢測(cè)認(rèn)證，品質(zhì)無(wú)虞?

●?支持定制加工，滿(mǎn)足特殊需求?